text 日本真空工業会 2015-04-01 00:00:00 +0900 unknown jpn

volume

141 p. ; 19 cm 533.5 正誤表あり 2023-09-11 13:55:08 +0900 2025-12-15 09:28:05 +0900 https://library.nims.go.jp/manifestations/132312