ガス供給システム - 半導体基盤技術研究会; 半導体基盤技術研究会 編; [大見 忠弘, 新田 雄久 監修]; 半導体基盤技術研究会 (リアライズ社)
監修: 大見忠弘, 新田雄久//参考文献: 各章末にあり