薄膜作製応用ハンドブック - 小川, 正毅; 多賀, 康訓; 八瀬, 清志; 権田, 俊一 (エヌ・ティー・エス)
監修: 權田俊一//執筆者: 權田俊一ほか//参考・引用文献: 各章末