シリコン結晶とドーピング 阿部, 孝夫 creator 小切間, 正彦 creator 谷口, 研二 creator text 谷口, 研二 unknown jpn
volume
230p ; 22cm 666.3 各章末:文献 9784621030820 2005-01-19 23:08:21 +0900 2025-12-15 09:47:15 +0900 https://library.nims.go.jp/manifestations/67464 シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 </titleInfo> <name type="personal"> <namePart>阿部, 孝夫</namePart> <role> <roleTerm type="text" authority="marcrelator">creator</roleTerm> </role> </name> <typeOfResource>text</typeOfResource> <originInfo> <publisher>培風館</publisher> <dateIssued/> <frequency>unknown</frequency> </originInfo> <language> <languageTerm authority="iso639-2b" type="code">jpn</languageTerm> </language> <physicalDescription> <form authority="marcform">volume</form> <extent>xii, 361p ; 22cm</extent> </physicalDescription> <subject> </subject> <classification authority="udc">548.5</classification> <abstract/> <note>各章末: 参考文献</note> <identifier type="isbn">9784563036058</identifier> <recordInfo> <recordCreationDate>1901-12-31 09:00:00 +0900</recordCreationDate> <recordChangeDate>2025-12-15 09:39:41 +0900</recordChangeDate> <recordIdentifier>https://library.nims.go.jp/manifestations/35189</recordIdentifier> </recordInfo> </modsCollection>