manifestation_id original_title title_alternative title_transcription statement_of_responsibility serial manifestation_identifier creator contributor publisher date_of_publication year_of_publication publication_place manifestation_created_at manifestation_updated_at carrier_type content_type frequency language isbn issn ncid volume_number volume_number_string edition edition_string issue_number issue_number_string serial_number extent start_page end_page dimensions height width depth manifestation_price access_address manifestation_required_role abstract description identifier:unknown identifier:nbn identifier:isbn10 identifier:iss_itemno identifier:online_isbn identifier:print_isbn identifier:print_issn identifier:online_issn identifier:escidoc identifier:nims series_statement_id series_statement_original_title series_statement_title_subseries series_statement_title_subseries_transcription series_statement_title_transcription series_statement_creator series_statement_volume_number series_statement_series_master series_statement_root_manifestation_id series_statement_manifestation_id series_statement_position series_statement_note series_statement_created_at series_statement_updated_at subject:ndlsh subject:unknown subject:bsh classification:ndc8 classification:ndc9 classification:udc doi jpno ncid lccn iss_itemno item_id item_identifier binding_item_identifier call_number library shelf item_note accepted_at acquired_at item_created_at item_updated_at 73714 LSI製造におけるプロセス高性能化技術 : ガス供給システム 第1編 LSI セイゾウ ニオ ケル プロセス コウセイノウ ケ ギジュツ:ガス キョウキュウ システム 920419 半導体基盤技術研究会 編; [大見 忠弘, 新田 雄久 監修] 半導体基盤技術研究会 編; [大見 忠弘, 新田 雄久 監修]//半導体基盤技術研究会 リアライズ社 1989-01-01 00:00:00 +0900 2006-11-07 00:26:12 +0900 2024-03-04 14:01:38 +0900 volume text unknown Japanese "" "" Technology 224p; 27cm 1 224 27.0 Guest "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" 139 Ultra Clean Technology "" "" "" "" "" "" "" 73714 77 "" 2011-03-30 23:49:13 +0900 2013-04-23 00:04:45 +0900 "" "" "" "" "" 661.9 74072 210874 661.9|H|12350 sengen S00130202 2006-12-01 00:00:00 +0900 2010-12-16 02:30:38 +0900 2024-03-04 14:01:38 +0900 67000 熱電変換システム技術総覧 The new edition of thermoelectric enegy conversion systems ネツデン ヘンカン システム ギジュツ ソウラン 深水克郎, 西本昌弘編 false 919201 深水, 克郎//西本, 昌弘 梶川, 武信 リアライズ理工センター 2004-01-01 00:00:00 +0900 2004 "" 2004-12-08 01:41:17 +0900 2024-01-04 12:03:54 +0900 volume text unknown Japanese 9784898080498 "" BA68499679 "" 新版 "" 12, 338, 5p ; 30cm 1 338 0.0 0.0 0.0 "" Guest "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" "" 621.36 BA68499679 70346 219693 621.36|F|12069 sengen S00990101 2004-12-16 00:00:00 +0900 2010-12-16 02:11:25 +0900 2024-01-04 12:03:54 +0900 42299 薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性 ハクマク ノ リキガクテキ トクセイ ヒョウカ ギジュツ: トライボロジー・ ナイブ オウリョク・ミッチャク セイ 69928 金原 粲 [ほか] 金原 粲 [ほか] リアライズ社 1992-01-01 00:00:00 +0900 2003-09-08 19:07:46 +0900 2024-03-04 13:58:55 +0900 volume text unknown Japanese 9784947655523 "" 610p; 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