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Principles and Applications of NanoMEMS Physics 15 
著者: H?ctor J. Santos 出版者: Springer (出版日: 2005)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 巻号: | 巻: 15 |
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 オンラインリソース
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| 言語: | English |
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| 識別子: | DOI: 10.1007/b136228 |
| アブストラクト: |
