[M] Principles and Applications of NanoMEMS Physics 15

著者: H?ctor J. Santos 出版者: Springer (出版日: 2005)

• 書誌詳細

雑誌・シリーズ情報:	Microsystems Microsystems
版:
巻号:	巻: 15
形態:	オンラインリソース
言語:	English
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識別子:	DOI: 10.1007/b136228
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