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ナノ加工・サブミクロン加工の最先端動向 
東レリサーチセンター調査研究部門編
Contributor: 東レリサーチセンター調査研究部門 Publisher: 東レリサーチセンター
(Date of publication: 2000-04)
| Titlte alternative: | ナノ加工・サブミクロン加工の最先端動向 / ナノ カコウ サブ ミクロン カコウ ノ サイセンタン ドウコウ |
| Series statement: |
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Volume
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| Language: | Japanese |
| Physical description: | 8, 264p ; 31cm |
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| Classification: | |
| Tag: |
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| Identifier: |
NCID: BA47930440
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| Abstract: | |
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