[M] 機能成膜プロセス技術 エレクトロニクスにおける機能膜作製技術

著者: 逢坂哲弥，二瓶公志 出版者: 広信社 (出版日: 1987)

• 書誌詳細

形態:	冊子体
言語:	日本語
ページ数と大きさ:	862p; 27cm
件名:
分類:	UDC: 539.2
識別子:
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
208950	千現	その他	539.2|A|8138	行方不明 (2013年03月 より)