[M] 薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

著者: 金原 粲 [ほか] 協力者・編者: 金原 粲 [ほか] 出版者: リアライズ社 (出版日: 1992)

• 書誌詳細

形態:	冊子体
言語:	日本語
ページ数と大きさ:	610p; 27cm
件名:
分類:	UDC: 539.3
識別子:	ISBN: 9784947655523
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
219451	千現	単行書5	539.3|K|11869	在架（利用可能）

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