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[M] Journal of Vacuum Science & Technology Vol.14 No.1-2 / No.1 ; Proceedings of the 23rd National Symposium of the American Vacuum Society, 21-24 September 1976Palmer House Chicago, Illinois Vol.14 No.1-2
出版者: for The American Vacuum Society by the American Institute of Physics
(出版日: 1977)
定期刊行物: | Journal of Vacuum Science & Technology |
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版: | |
巻号: | 巻: Vol.14 号: No.1-2 |
形態: | 冊子体 |
言語: | English |
ページ数と大きさ: | 1p; 29cm |
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識別子: | ISSN: 00225355 |
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