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[M] Journal of Vacuum Science & Technology Vol.15 No.3-6 / No.3 ; Proceedings of the 14th Symposium on Electron, Ion, and Photon Beam Technology, 25-27 May 1977 Rickey's Hyatt House Palo Alto, California / No.4 ; Proceedings of the 5th Annual Conference on the Physics of Compound Semiconductor Interfaces, 17-20 January 1978 Davidson Conference Center University of Southern California University Park Los Angeles, California / No.5 ; Proceedings of the AVS Symposium on Ion Implantation -- New Prospects for Materials Modification, 14 June 1978 T.J. Watson Research Center Yorktown Heights, New York Vol.15 No.3-6 定期刊行物 冊子体

出版者: for The American Vacuum Society by the American Institute of Physics (出版日: 1978)

版:
巻号: 巻: Vol.15 号: No.3-6
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: 837p; 29cm
件名:
分類:
識別子: ISSN: 00225355
アブストラクト:

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
120483 千現 集密書庫 画像 |J|T-1367 在架(利用可能)
貸出不可