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Journal of Vacuum Science & Technology Vol.17 No.4-6 Vol.17 No.4-6
出版者: The American Vacuum Society
(出版日: 1980)
定期刊行物: | Journal of Vacuum Science & Technology |
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版: | |
巻号: | 巻: Vol.17 号: No.4-6 |
形態: |
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言語: | English |
ページ数と大きさ: | 775p; 30cm |
件名: | |
分類: | |
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識別子: | ISSN: 00225355 |
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