[M] Journal of Vacuum Science and Technology A Vol.4 No.5-6 Vol.4 No.5-6

出版者: American Vacuum Society (出版日: 1986)

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版:
巻号:	巻: Vol.4 号: No.5-6
形態:	冊子体
言語:	English
ページ数と大きさ:	29
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識別子:	ISSN: 07342101
アブストラクト:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
120464	千現	集密書庫	||T-2462	在架（利用可能） 貸出不可

• [M] Journal of Vacuum Science & Technology A