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Journal of Vacuum Science & Technology A Vol.17 No.4 Vol.17 No.4 
出版者: for The American Vacuum Society by the American Institute of Physics (出版日: 1999)
| 版: | |
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| 巻号: | 巻: Vol.17 号: No.4 |
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 1079p; 29cm |
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| 識別子: | ISSN: 07342101 |
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