[M] Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.9 No.3-4 Vol.9 No.3-4

出版者: for The American Vacuum Society by American Institute of Physics (出版日: 1991)

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版:
巻号:	巻: Vol.9 号: No.3-4
形態:	冊子体
言語:	English
ページ数と大きさ:	1421p; 29cm
件名:
分類:
識別子:	ISSN: 0734211X
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
120963	千現	集密書庫	|J|T-4354	在架（利用可能） 貸出不可

• [M] Journal of Vacuum Science & Technology B

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