[M] スパタリング現象：基礎と薄膜・コーティング技術への応用

Creator: 金原 粲 Publisher: 東京大学出版会 (Date of publication: 1984)

• Detail

Form:	Volume
Language:	Japanese
Physical description:	231p; 22cm
Subject:
Classification:	UDC: 533.9
Tag:
Identifier:	ISBN: 9784130610476
Abstract:
Note:

Item identifier	Library	Shelf	Call number	Circulation status
215640	Sengen	Books 3	533.9|K|T-837	Available On Shelf

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