[M] スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著
Creator: 金原, 粲 Publisher: 東京大学出版会 (Date of publication: 1984-03)

• Detail

Form:	Volume
Language:	Japanese
Physical description:	ix, 231p ; 22cm
Subject:
Classification:	UDC: 533.9
Tag:
Identifier:	ISBN: 9784130610476 NCID: BN00164488
Abstract:
Note:	各章末: 参考文献//一般的参考書: p226

Item identifier	Library	Shelf	Call number	Circulation status
215640	Namiki	Books 7	533.9|K|T-837	Available On Shelf

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