[M] Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.18 No.1-3

出版者: for The American Vacuum Society by American Institute of Physics (出版日: 2000)

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版:
巻号:	巻: Vol.18 号: No.1-3
形態:	冊子体
言語:	English
ページ数と大きさ:	1p; 29cm
件名:
分類:
識別子:	ISSN: 0734211X
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
129388	千現	集密書庫	|J|25209	在架（利用可能） 貸出不可

• [M] Journal of Vacuum Science & Technology B

資料の形態

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出版日

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• 1990 - 1999 (10831)
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