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Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.22 No.1-2
出版者: published by The American Vacuum Society(AVS) through the American Institute Physics(AIP) (出版日: 2004)
版: | |
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巻号: | 巻: Vol.22 号: No.1-2 |
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言語: | English |
ページ数と大きさ: | 1p; 28cm |
件名: | |
分類: | |
識別子: | ISSN: 0734211X |
アブストラクト: | |
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