[M] Journal of Vacuum Science & Technology B

1	Journal of Vacuum Science & Technology. Second series. B, Microelectronics and Nanometer Structures, Processing, Measurement and Phenomena 27(1-2) American Vacuum Society American Institute of Physics (2009) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134676 千現 集密書庫 ||30489 在架（利用可能）
2	Journal of Vacuum Science & Technology. Second series. B, Microelectronics and Nanometer Structures, Processing, Measurement and Phenomena 27(3-5) American Vacuum Society American Institute of Physics (2009) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134677 千現 集密書庫 ||30490 在架（利用可能）
3	Journal of Vacuum Science & Technology. Second series. B, Microelectronics and Nanometer Structures, Processing, Measurement and Phenomena 27(6) American Vacuum Society American Institute of Physics (2009) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134678 千現 集密書庫 ||30491 在架（利用可能）
4	Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.26 No.1-3 published by The American Vacuum Society(AVS) through the American Institute Physics(AIP) (2008) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134518 千現 集密書庫 ||30331 在架（利用可能） 貸出不可
5	Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.26 No.4-6 published by The American Vacuum Society(AVS) through the American Institute Physics(AIP) (2008) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134519 千現 集密書庫 ||30332 在架（利用可能） 貸出不可
6	Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.25 No.1-3 American Vacuum Society (2007) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134034 千現 集密書庫 ||29847 在架（利用可能） 貸出不可
7	Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.25 No.4-6 American Vacuum Society (2007) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134035 千現 集密書庫 ||29848 在架（利用可能） 貸出不可
8	Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.24 No.3-4 American Vacuum Society (2006) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 133493 千現 集密書庫 |J|29306 在架（利用可能） 貸出不可
9	Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.24 No.1-2 American Vacuum Society (2006) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 133492 千現 集密書庫 |J|29305 在架（利用可能） 貸出不可
10	Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.24 No.5-6 American Vacuum Society (2006) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 133494 千現 集密書庫 |J|29307 在架（利用可能） 貸出不可

資料の形態

• 冊子体 (30)

図書館

• 千現 (24)
• 並木 (6)

コレクション

言語

• English (30)

出版日

• 2000 - 2009 (30)
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予約可能

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