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[M] Journal of Vacuum Science & Technology. 2nd series. A, Vacuum, Surfaces, and Films 27(1-3)
出版者: American Vacuum Society American Institute of Physics
(出版日: 2009)
定期刊行物: | Journal of Vacuum Science & Technology A |
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版: | |
巻号: | 巻: 27(1-3) |
形態: | 冊子体 |
言語: | English |
ページ数と大きさ: | 29 |
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識別子: | ISSN: 07342101 |
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