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1	Microelectromechanical systems-materials and devices : symposium held November 26-28, 2007, Boston, Massachusetts, U.S.A. LaVan, David A. da Silva, Mark G. Spearing, S. Mark Materials Research Society UDC: MRS 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 211101 千現 プロシーディングス26 MRS|P|12487 在架（利用可能）

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