[M] ECRスパッタ法によるフェライト薄膜の低温高速製造技術と量産対応型ECRスパッタ装置の開発に関する研究

著者: 山本, 節夫 松浦, 満 岡田, 繁信 下里, 義博 協力者・編者: 日本粉末冶金工業会 (出版日: 2005)
https://hdl.handle.net/20.500.11932/1320552

資料: ECRスパッタ法によるフェライト薄膜の低温高速製造技術と量産対応型ECRスパッタ装置の開発に関する研究

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作成時刻: 2023/07/31 14:43:46

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