[M] 逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究(平成3〜6年度 無機材質特別研究 1995 科学技術庁 無機材質研究所研究報告書第85号

(Date of publication: 1995-11-13)
https://doi.org/10.11503/NIRIM0085

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