[M] スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著
Creator: 金原, 粲 Publisher: 東京大学出版会 (Date of publication: 1984-03)

Manifestation: スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

Shelf: Books 7 (Namiki)

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Acquired at: December 17, 1984

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Created at: Wed, 15 Dec 2010 23:22:02 +0900

Updated at: Mon, 15 Dec 2025 09:28:08 +0900