[M] スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著
著者: 金原, 粲 出版者: 東京大学出版会 (出版日: 1984-03)

資料: スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

本棚: 単行書7 (並木)

貸出区分: 標準

貸出状態: 在架（利用可能）

請求記号: 533.9|K|T-837

原簿番号:

所蔵情報ID: 215640

付録を含む: いいえ

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受入日: 1984年12月17日

業務用メモ:

受入時刻:

作成時刻: 2010/12/15 23:22:02

更新時刻: 2025/12/15 09:28:08