[M] Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A.

editors, Tomas Diaz de la Rubia ... [et al.]
著者: Diaz de la Rubia, Tomas 出版者: Materials Research Society (出版日: 1997)

資料: Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A.

本棚: 集密書庫60 (並木)

貸出区分: 標準

貸出状態: 在架（利用可能）

請求記号: MRS|P|469

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所蔵情報ID: 217735

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受入日: 1998年03月04日

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作成時刻: 2010/12/15 23:36:52

更新時刻: 2025/12/03 16:34:25