[M] ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学

岩井洋 [ほか著]
Creator: 岩井, 洋 Publisher: エヌ・ティー・エス (Date of publication: 2012-07)

Manifestation: ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学

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