[M] 正・負高電庄パノレス型プラズマ利用イオン注入法で作製したＳｉ含有DLC膜の耐熱性と摩擦摩耗特性

Creator: 池山, 雅美 崔, 竣豪 中尾, 節男 宮川, 草児 Contributor: 日本粉末冶金工業会 (Date of publication: 2005)
https://hdl.handle.net/20.500.11932/1336571

Manifestation: 正・負高電庄パノレス型プラズマ利用イオン注入法で作製したＳｉ含有DLC膜の耐熱性と摩擦摩耗特性

Shelf: Web (Web)

Checkout type: 標準

Circulation status: Available On Shelf

Call number:

Register number:

Item identifier:

Include supplements: No

Required role: Guest

Acquired at:

Note:

Accepted at:

Created at: Mon, 31 Jul 2023 14:30:32 +0900

Updated at: Mon, 31 Jul 2023 14:30:32 +0900