[M] 反応性スパッタリングによるαアルミナの成膜

Creator: 小原, 利光 玉垣, 浩 碇, 賀充 (Date of publication: 2003)
https://hdl.handle.net/20.500.11932/892571

Manifestation: 反応性スパッタリングによるαアルミナの成膜

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