[M] 逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究

科学技術庁無機材質研究所
Publisher: 科学技術庁無機材質研究所 (Date of publication: 1995-11)

• Detail

Titlte alternative:	平成3~6年度無機材質特別研究
Series statement:	無機材質研究所研究報告書 第85号
Form:	Volume
Language:	Japanese
Physical description:	17P; 30cm
Subject:
Classification:
Tag:
Identifier:
Abstract:
Note:

Item identifier	Library	Shelf	Call number	Circulation status
601396	Namiki	Books 11	546|Muk|85	Available On Shelf Not For Loan