[M] 逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究 : 平成3〜6年度無機材質特別研究

科学技術庁無機材質研究所編
Creator: 科学技術庁無機材質研究所 Publisher: 科学技術庁無機材質研究所 (Date of publication: 1995-11)

• Detail

Titlte alternative:	平成3~6年度無機材質特別研究
Series statement:	無機材質研究所研究報告書 第85号
Form:	Volume
Language:	Japanese
Physical description:	17p ; 30cm
Subject:
Classification:
Tag:
Identifier:	NCID: BB06635935
Abstract:
Note:

Item identifier	Library	Shelf	Call number	Circulation status
601396	Namiki	NIMS Publications 1	546|Muk|85	Available On Shelf Not For Loan