[M] 正・負高電庄パノレス型プラズマ利用イオン注入法で作製したＳｉ含有DLC膜の耐熱性と摩擦摩耗特性

Creator: 池山, 雅美 崔, 竣豪 中尾, 節男 宮川, 草児 Contributor: 日本粉末冶金工業会 (Date of publication: 2005)
https://hdl.handle.net/20.500.11932/1336571

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Collection:	元素戦略ライブラリー
Form:	Online resource
Language:	unknown
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Identifier:	Handle URI: https://hdl.handle.net/20.500.11932/1336571
Full-text file	粉体粉末冶金協会講演概要集OCR_144.pdf (0.1 MB) NIMS Read Only License: Prohibit Commercial Use (NIMS only)
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