[M] 電子線誘起電流（EBIC）法を用いた多結晶シリコンにおける粒界の電気的活性度評価

Creator: 関口, 隆史 陳, 君 伊藤, 俊 (Date of publication: 2006)
https://hdl.handle.net/20.500.11932/1496101

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Collection:	元素戦略ライブラリー
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Language:	unknown
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Identifier:	Handle URI: https://hdl.handle.net/20.500.11932/1496101
Full-text file	電子線誘起電流_EBIC_法を用いた多結晶シリコンにおける粒界の電気的活性度評価OCR.pdf (1.93 MB) NIMS Read Only License: Prohibit Commercial Use (NIMS only)
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