[M] ナノ単位の高記録密度化に対応する極薄の炭素保護願を作製

Creator: 藤巻, 成彦 小角, 雄一 (Date of publication: 2004-03)
https://hdl.handle.net/20.500.11932/1149558

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Collection:	元素戦略ライブラリー
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Language:	unknown
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Identifier:	Handle URI: https://hdl.handle.net/20.500.11932/1149558
Full-text file	ナノ単位の高記録密度化に対応する極薄の炭素保護膜を作製OCR.pdf (0.3 MB) NIMS Read Only License: Prohibit Commercial Use (NIMS only)
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