[M] 熱プラズマCVD法によるアルロキシド溶液からのＴｉN.基複合膜の作製と評価

Creator: 嶋田, 志郎 高橋, 昌照 辻野, ニ朗 Contributor: 日本粉末冶金工業会 (Date of publication: 2005)
https://hdl.handle.net/20.500.11932/1340556

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Collection:	元素戦略ライブラリー
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Language:	unknown
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Identifier:	Handle URI: https://hdl.handle.net/20.500.11932/1340556
Full-text file	粉体粉末冶金協会講演概要集OCR_167.pdf (0.08 MB) NIMS Read Only License: Prohibit Commercial Use (NIMS only)
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