[M] Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology

Andreas Hierlemann
出版者: Springer Berlin Heidelberg (出版日: 2005)
https://link.springer.com/openurl?genre=book&isbn=978-3-540-27372-1

• 書誌詳細

雑誌・シリーズ情報:	Microtechnology and MEMS
形態:	オンラインリソース
言語:	English
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識別子:	ISBN: 9783540273721 DOI: 10.1007/b138987
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