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Materials issues and modeling for device nanofabrication : symposia held November 29-December 2, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A. 
editors, Lhadi Merhari ... [et al.]
著者: Merhari, Lhadi 出版者: Materials Research Society (出版日: 2000)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xiii, 340 p. ; 24 cm |
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ISBN: 9781558994928
ISSN: 02729172
NCID: BA48300324
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| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
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