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[M] Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A. 冊子体

editors, Tomas Diaz de la Rubia ... [et al.]
著者: 出版者: Materials Research Society (出版日: 1997)

雑誌・シリーズ情報:
  • Materials Research Society symposium proceedings v. 469
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: xv, 541 p. ; 24 cm
件名:
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識別子: ISBN: 9781558993730
アブストラクト:

注記:

Includes bibliographical references and index
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
217735 並木 集密書庫60 画像 MRS|P|469 在架（利用可能）