[M] 超微細加工技術

応用物理学会編 ; 徳山巍編著
Creator: 応用物理学会 徳山, 巍 Contributor: 応用物理学会 編; 徳山 巍 編著 応用物理学会 Publisher: オーム社 (Date of publication: 1997-02)

• Detail

Series statement:	応用物理学シリーズ 専門コース
Form:	Volume
Language:	Japanese
Physical description:	xiv, 309p ; 22cm
Subject:
Classification:	UDC: 621.3
Tag:
Identifier:	ISBN: 9784274023323 NCID: BN15970232
Abstract:
Note:	参考文献: 各章末//索引: p[305]-309//執筆: 徳山巍ほか

Item identifier	Library	Shelf	Call number	Circulation status
217788	Namiki	Books 21	621.3|O|10621	Available On Shelf

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