[M] 超微細加工技術

Creator: 応用物理学会 編; 徳山 巍 編著 Contributor: 応用物理学会 編; 徳山 巍 編著 応用物理学会 Publisher: オーム社 (Date of publication: 1997)

• Detail

Series statement:	応用物理学シリーズ
Form:	Volume
Language:	Japanese
Physical description:	309p; 22cm
Subject:
Classification:	UDC: 621.3
Tag:
Identifier:	ISBN: 9784274023323
Abstract:
Note:

Item identifier	Library	Shelf	Call number	Circulation status
217788	Sengen	Books 11	621.3|O|10621	Available On Shelf

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