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薄膜作製応用ハンドブック 
小川正毅, 多賀康訓編集委員 ; 八瀬清志編集協力委員
著者: 小川, 正毅 多賀, 康訓 八瀬, 清志 権田, 俊一 出版者: エヌ・ティー・エス (出版日: 2003-04)
| 版: | 21世紀版 |
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| 巻号: | |
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 5, 15, 1330, 25, 19, 18p, 図版18p, 表9p ; 27cm |
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| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: |
ISBN: 9784860430191
NCID: BA61815894
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
監修: 權田俊一//執筆者: 權田俊一ほか//参考・引用文献: 各章末 |
