[M] 21世紀版薄膜作製応用ハンドブック

小川　正毅、多賀　康訓、八瀬 清志、権田　俊一
著者: 小川　正毅、多賀　康訓、八瀬 清志、権田　俊一 出版者: エヌ・ティー・エス (NTS) (出版日: 2003)

• 書誌詳細

形態:	冊子体
言語:	日本語
ページ数と大きさ:	5, 15, 1330, 25, 19, 18p, 図版18p, 表9p; 27cm
件名:
分類:	UDC: 539.23
タグ:
識別子:	ISBN: 9784860430191
アブストラクト:
注記:	権田 俊一 監修

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
219427	千現	参考図書21	539.23|H|11851	在架（利用可能）
600589	並木	参考図書1	(03)539.23|O|	在架（利用可能） 貸出不可

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