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Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.18 No.4-6 
出版者: for The American Vacuum Society by American Institute of Physics
(出版日: 2000)
| 定期刊行物: | Journal of Vacuum Science & Technology B |
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| 版: | |
| 巻号: | 巻: Vol.18 号: No.4-6 |
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 1817p; 29cm |
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| 分類: | |
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| 識別子: | ISSN: 0734211X |
| アブストラクト: | |
| 注記: |
