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[M] Plasma Deposited Thin Films
著者: J. Mort, F. Jansen 出版者: CRC Press
(出版日: 1986)
形態: | 冊子体 |
言語: | English |
ページ数と大きさ: | 245p; 26cm |
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識別子: | ISBN: 9780849351198 |
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本所より管理換 |
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