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[M] Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.22 No.1-2
出版者: published by The American Vacuum Society(AVS) through the American Institute Physics(AIP)
(出版日: 2004)
定期刊行物: | Journal of Vacuum Science & Technology B |
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版: | |
巻号: | 巻: Vol.22 号: No.1-2 |
形態: | 冊子体 |
言語: | English |
ページ数と大きさ: | 1p; 28cm |
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識別子: | ISSN: 0734211X |
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