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[M] Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society

代替タイトル	J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom//Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena//Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena//Microelectronics processing and phenomena
ISSN	0734211X
NCID	AA10635106

所蔵情報	【並木】＜年次:1983-1990＞Vol.1-8
注記	【配架場所】並木集密書庫27 継続前誌：Journal of vacuum science and technology 継続後誌：Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

Journal of Vacuum Science & Technology. Second series. B, Microelectronics and Nanometer Structures, Processing, Measurement and Phenomena 27(6)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
134678	並木	集密書庫27	\|\|30491	在架（利用可能）

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.26 No.1-3

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
134518	並木	集密書庫27	\|\|30331	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.26 No.4-6

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
134519	並木	集密書庫27	\|\|30332	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.25 No.1-3

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
134034	並木	集密書庫27	\|\|29847	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.25 No.4-6

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
134035	並木	集密書庫27	\|\|29848	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.24 No.3-4

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
133493	並木	集密書庫27	\|J\|29306	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.24 No.1-2

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
133492	並木	集密書庫27	\|J\|29305	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.24 No.5-6

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
133494	並木	集密書庫27	\|J\|29307	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.23 No.5-6

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
132859	並木	集密書庫27	\|\|28672	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.23 No.3-4

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
132858	並木	集密書庫27	\|\|28671	在架（利用可能）貸出不可