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[M] Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society 定期刊行物 冊子体


出版者: American Institute of Physics

代替タイトル J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom//Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena//Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena//Microelectronics processing and phenomena
ISSN 0734211X
NCID AA10635106
所蔵情報

【並木】＜年次:1983-1990＞Vol.1-8

注記

【配架場所】並木 集密書庫27
継続前誌：Journal of vacuum science and technology
継続後誌：Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

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11 Journal of Vacuum Science & Technology B 14 3-4 冊子体
(1996)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512147 並木 集密書庫27 画像 ||18260 在架（利用可能）
貸出不可
12 Journal of Vacuum Science & Technology B 14 5-6 冊子体
(1996)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512148 並木 集密書庫27 画像 ||18261 在架（利用可能）
貸出不可
13 Journal of Vacuum Science & Technology B 13 1-2 冊子体
(1995)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512143 並木 集密書庫27 画像 ||17646 在架（利用可能）
貸出不可
14 Journal of Vacuum Science & Technology B 13 3-4 冊子体
(1995)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512144 並木 集密書庫27 画像 ||17647 在架（利用可能）
貸出不可
15 Journal of Vacuum Science & Technology B 13 5-6 冊子体
(1995)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512145 並木 集密書庫27 画像 ||17648 在架（利用可能）
貸出不可
16 Journal of Vacuum Science & Technology B 12 1-2 冊子体
(1994)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512140 並木 集密書庫27 画像 ||16948 在架（利用可能）
貸出不可
17 Journal of Vacuum Science & Technology B 12 3-4 冊子体
(1994)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512141 並木 集密書庫27 画像 ||16949 在架（利用可能）
貸出不可
18 Journal of Vacuum Science & Technology B 12 5-6 冊子体
(1994)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512142 並木 集密書庫27 画像 ||16950 在架（利用可能）
貸出不可
19 Journal of Vacuum Science & Technology B 11 1-3 冊子体
(1993)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512138 並木 集密書庫27 画像 ||16463 在架（利用可能）
貸出不可
20 Journal of Vacuum Science & Technology B 11 4-6 冊子体
(1993)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512139 並木 集密書庫27 画像 ||16464 在架（利用可能）
貸出不可

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