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[M] Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society 定期刊行物 冊子体


出版者: American Institute of Physics

代替タイトル J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom//Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena//Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena//Microelectronics processing and phenomena
ISSN 0734211X
NCID AA10635106
所蔵情報

【並木】＜年次:1983-1990＞Vol.1-8

注記

【配架場所】並木 集密書庫27
継続前誌：Journal of vacuum science and technology
継続後誌：Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

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21 Journal of Vacuum Science & Technology B 19 4-5 冊子体
(2001)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
530349 並木 集密書庫27 画像 ||21515 在架（利用可能）
貸出不可
22 Journal of Vacuum Science & Technology B 19 6 冊子体
(2001)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
530350 並木 集密書庫27 画像 ||21516 在架（利用可能）
貸出不可
23 Journal of Vacuum Science & Technology B 18 1-2 冊子体
(2000)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
529220 並木 集密書庫27 画像 ||20824 在架（利用可能）
貸出不可
24 Journal of Vacuum Science & Technology B 18 3-4 冊子体
(2000)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
529221 並木 集密書庫27 画像 ||20825 在架（利用可能）
貸出不可
25 Journal of Vacuum Science & Technology B 18 5-6 冊子体
(2000)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
529222 並木 集密書庫27 画像 ||20826 在架（利用可能）
貸出不可
26 Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.18 No.4-6 冊子体
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
130797 並木 集密書庫27 画像 ||26609 在架（利用可能）
貸出不可

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