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[M] Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society

代替タイトル	J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom//Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena//Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena//Microelectronics processing and phenomena
ISSN	0734211X
NCID	AA10635106

所蔵情報	【並木】＜年次:1983-1990＞Vol.1-8
注記	【配架場所】並木集密書庫27 継続前誌：Journal of vacuum science and technology 継続後誌：Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

Journal of Vacuum Science & Technology B 17 1-3

(1999)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
512156	並木	集密書庫27	\|\|20086	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B 17 4-5

(1999)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
512157	並木	集密書庫27	\|\|20087	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B 17 6

(1999)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
512155	並木	集密書庫27	\|\|20088	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B 16 1-2

(1998)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
512152	並木	集密書庫27	\|\|19628	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B 16 3-4

(1998)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
512153	並木	集密書庫27	\|\|19629	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B 16 5-6

(1998)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
512154	並木	集密書庫27	\|\|19630	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B 15 1-3

(1997)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
512150	並木	集密書庫27	\|\|18806	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B 15 4-5

(1997)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
512151	並木	集密書庫27	\|\|18807	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B 15 6

(1997)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
512149	並木	集密書庫27	\|\|18808	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B 14 1-2

(1996)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
512146	並木	集密書庫27	\|\|18259	在架（利用可能）貸出不可