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1	Journal of vacuum science & technology. 2nd series. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society American Vacuum Society American Institute of Physics American Institute of Physics ISSN: 15531813 07342101 所蔵情報: 【並木】＜年次:1983-2013＞Vol.1-31
2	Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society American Institute of Physics ISSN: 0734211X 所蔵情報: 【並木】＜年次:1983-1990＞Vol.1-8
3	Journal of vacuum science and technology American Vacuum Society American Institute of Physics ISSN: 00225355 所蔵情報: 【並木】＜年次:1964-1982＞Vol.1-21

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