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1	Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A. Heuer, A. H. (Arthur Harold) Jacobs, S. Joshua Materials Research Society (1999) UDC: MRS 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 602553 並木 単行書27 681|H| 在架（利用可能）

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