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1 Journal of vacuum science & technology. 2nd series. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society 定期刊行物 冊子体
ISSN: 15531813 07342101
所蔵情報: 【並木】＜年次:1983-2013＞Vol.1-31
2 Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society 定期刊行物 冊子体
ISSN: 0734211X
所蔵情報: 【並木】＜年次:1983-1990＞Vol.1-8
3 Journal of vacuum science and technology 定期刊行物 冊子体
ISSN: 00225355
所蔵情報: 【並木】＜年次:1964-1982＞Vol.1-21