[M] Carbon nanotube growth from catalyst nanoparticles injected into holes for LSI interconneｃｔｓ

著者: External Organizations Nihei, Misuhisa Kawabata, Akio Kondo, Daiyu Awano, Yuji (出版日: 2005)
https://hdl.handle.net/20.500.11932/1402546

資料: Carbon nanotube growth from catalyst nanoparticles injected into holes for LSI interconneｃｔｓ

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作成時刻: 2023/07/31 14:44:41

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